羅茨真空泵前級泵如何選擇？

羅茨真空泵不能單獨使用，必須配備前級泵以構(gòu)成一個單元。前級真空泵用于降低羅茨真空泵的排放壓力。由于羅茨真空泵的壓縮比受到限制，因此前級真空泵的泵送速度為：重要的是，羅茨真空泵的壓縮比隨排氣壓力而變化。在高排氣壓力下，壓縮比最大為3：1，壓縮比在1到10 mbar（1mbar = 0.75 Torr）之間，最高為50：1，甚至更高。因此，前級泵的抽速是根據(jù)羅茨真空泵的長期工作壓力范圍選擇的。例如，有一個使用羅茨真空泵裝置進行泵送的系統(tǒng)，該系統(tǒng)需要在1 mbar的入口壓力下以600升/秒的速度泵送泵，并需要長期工作。詢問應選擇多少個前級泵。首先假設使用30 l / s的前級泵時，壓縮比K = 600：30 = 20，在K = 20時給出30 mbar的排氣壓力。由此可以得出結(jié)論，當30升/秒的前級泵時如果選擇，則可以在低于1.5 mbar的入口壓力下工作，但是當入口壓力高于1.5 mbar時，則選擇更大的前級泵。在此示例中，1 mbar的工作真空度小于1.5 mbar，因此30升/秒的前級泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的泵送要求。此外，應考慮到，如果正常工作時間比預泵送時間長得多，則可以選擇更小的前級泵。如果真空室很大，并且需要快速預抽，則應使用它。較大的前級泵有時會配備較大的預泵，以提高設備效率。正常運行后將其停止，并使用較小的前級泵進行維護。這是為了節(jié)省電量。選擇前級泵時，還必須考慮對羅茨真空泵單元的極限壓力的要求。為了達到最高真空度（最高壓力為1X10-3Pa?1X10-2Pa），可以使用兩級旋轉(zhuǎn)葉片油封機械泵或兩級滑閥機械泵作為前級泵。極限真空度在（1X10-2Pa?1X10-1Pa）之間，前級泵可以使用單級油封機械泵，極限真空度在1333-1333Pa之間，為往復真空泵或液環(huán)真空泵可用作前泵。當使用往復式或液環(huán)粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時，前級泵的抽速通常為羅茨真空泵的1 / 2-1 / 4，不能太大。壓縮比將過大，從而導致羅茨真空泵的排氣溫度過高而無法正常工作。在選擇前級泵時，我們還必須考慮泵送氣體中是否含有腐蝕性介質(zhì)，以及該介質(zhì)中是否含有可冷凝氣體（無論是大量還是微量）。如果包含腐蝕性氣體，則不能使用油封機械泵。油封機械泵不適用于泵送含有大量可冷凝蒸汽的氣體，否則它將很快乳化密封液并清除含有少量冷凝蒸汽的氣體。帶有氣鎮(zhèn)裝置的設備也必須用作前級泵。為了在低入口壓力（1?100pa）下獲得高抽速，可以將羅茨真空泵用作由另一臺羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級單元。抽速比一般在2?5之間。